下载带气动挡板的阴极电弧源的技术资料

文档序号:21424626

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本实用新型公开了带气动挡板的阴极电弧源,属于阴极电弧源领域,带气动挡板的阴极电弧源包括法兰座和阴极电弧源本体,阴极电弧源本体固定在法兰座上,还包括气动挡板,气动挡板包括支架杆、驱动支架杆转动的旋转气缸、密封件、以及屏蔽上板,支架杆穿过法兰座...
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