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本发明涉及一种飞秒光丝背向冲击波用于表面超精细加工装置及方法，该装置包括激光光源装置，扫描控制部，光束聚焦部，材料加工部，方案控制部，扫描控制部输入端与激光光源装置的输出端相连接，并接收方案控制部的反馈信号进行实时的监控与调节；方案控制部通...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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