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一种晶元自动周转上下料设备，其特征在于包括上料盒定位单元1、晶元机械手2、翻转模组3和上料机械手4，上料盒定位单元1和翻转模组3安装在晶元机械手2的两侧，上料机械手4安装在翻转模组3的上方。所述上料盒定位单元1包括定位台1‑1和上料盒1‑2...
该专利属于无锡元捷自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡元捷自动化设备有限公司授权不得商用。

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