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本实用新型公开了一种连续镀膜设备,包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室,镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间,镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构,进料仓内设置有第一基片架,过渡仓内设有第二基片架和翻转机构,第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼...该专利属于百琪达智能科技(宁波)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过百琪达智能科技(宁波)股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种连续镀膜设备,包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室,镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间,镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构,进料仓内设置有第一基片架,过渡仓内设有第二基片架和翻转机构,第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼...