下载半导体晶片清洗装置的技术资料

文档序号:21255222

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本实用新型提供了一种半导体晶片清洗装置,包括箱体、两个摇臂和多个叶片,四个清洗篮、两个摇臂和多个叶片均设置在箱体内部,箱体上端分别设置有两条侧边角钢和两条中心角钢,四个清洗篮上端均通过侧边角钢和中心角钢并列挂置在箱体内,清洗篮内部可拆卸设置...
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