下载一种高灵敏度与宽量程压力传感器的技术资料

文档序号:21222986

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本发明提供一种高灵敏度与宽量程压力传感器,包括外壳和位于外壳内的多级传感元;所述外壳受到的外界压力逐渐增大的过程中,所述多级传感元具有不同的厚度或高度,从而所述多级传感元依次顺序受压;本发明的高灵敏度与宽量程压力传感器,基于各级传感元在不同...
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