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一种高灵敏度与宽量程压力传感器制造技术
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文档序号:21222986
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本发明提供一种高灵敏度与宽量程压力传感器,包括外壳和位于外壳内的多级传感元;所述外壳受到的外界压力逐渐增大的过程中,所述多级传感元具有不同的厚度或高度,从而所述多级传感元依次顺序受压;本发明的高灵敏度与宽量程压力传感器,基于各级传感元在不同...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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