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本发明涉及一种具有处理腔室、至少一对微波等离子体源和至少一个电源的等离子体处理装置。每对微波等离子体源由第一微波等离子体源和第二微波等离子体源组成，其中，第一微波等离子体源和第二微波等离子体源分别具有等离子体源壁部，并且在该等离子体源壁部之...
该专利属于迈尔博尔格(德国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈尔博尔格(德国)有限公司授权不得商用。

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