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本发明揭示了一种卫星式真空薄膜沉积系统，由多个操作腔室管路连接组成，所述操作腔室包括一个中转室、两个共蒸发沉积室、三个磁控溅射室以及一个储样室，每个所述操作腔室均配备有用于维持腔体真空度的真空泵组，所述中转室位于整个系统的中心位置、其他所述...
该专利属于苏州华杨赛斯真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华杨赛斯真空设备有限公司授权不得商用。

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