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一种气相沉积设备的反应釜，包括：密封罩、反应箱、排气装置和送气管，密封罩密封反应箱的上端，排气装置与反应箱连通，送气管为多个，密封罩与至少一个送气管连通，反应箱的下端与至少一个送气管连通。上述反应釜由于采用了密封罩进行动态密封，因此在送料完...
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