下载接地顶盖模块、气体注入装置及刻蚀设备的技术资料

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一种接地顶盖模块包括主体、框架部分及顶盖部分。所述主体包括第一开口及接地部分,所述第一开口穿过所述主体,所述接地部分设置在所述主体的周边上且被配置成接地。所述框架部分设置在所述主体上且包括与所述第一开口对齐的第二开口。所述顶盖部分设置在所述...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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