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本发明公开了一种改变离子束方向的装置及方法，包括离子源，用于发射离子束；金属整体，用于调整所述离子束的反射方向，使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ，0°≤第一夹角θ＜90°。本发明极大程度上提高了产品性能，使...该专利属于丰豹智能科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丰豹智能科技（上海）有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种改变离子束方向的装置及方法，包括离子源，用于发射离子束；金属整体，用于调整所述离子束的反射方向，使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ，0°≤第一夹角θ＜90°。本发明极大程度上提高了产品性能，使...