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该实用新型涉及一种晶舟形变侦测系统，包括：扫描标记，设置于所述晶舟顶部，并朝向抓手设置，所述晶舟用于放置晶圆；所述抓手能够沿所述晶舟的高度方向运动以抓取所述晶舟内放置的晶圆；扫描传感器，设置于所述抓手表面，用于扫描所述扫描标记，并通过扫描结...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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