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苏州汉骅半导体有限公司
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集成增强型和耗尽型的HEMT及其制造方法技术
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文档序号:21093620
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本发明所提出的集成增强型和耗尽型的HEMT及其制造方法,可以将增强型和耗尽型晶体管集成在一起,有利于增加氮化镓HEMT器件的用途,提高电路的特性,并且为实现单片集成高速数字/模拟混合信号射频电路奠定了基础。同时,利用缓冲层的再生长以及掺杂需...
该专利属于苏州汉骅半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州汉骅半导体有限公司授权不得商用。
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