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一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下...
该专利属于宁夏银和半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏银和半导体科技有限公司授权不得商用。

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