下载用于将处理室与测量系统连接的连接适配器以及测量设备的技术资料

文档序号:21008164

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本实用新型涉及一种用于将处理室(300)与测量系统(2)连接的连接适配器(500),具有至少三个端口,包括:处理端口(3),其中所述处理端口(3)连接或能够连接到所述处理室(300)上;测量端口(4),其中所述测量系统(2)连接或能够连接到...
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