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本申请公开了一种石英晶片的清洗方法和自动清洗装置。清洗方法包括：将待清洗的所述晶片置于NPB清洗液、预热后恒温的Micro‑90清洗液、去离子水、预热后恒温的双氧水、去离子水、预热后恒温的无水乙醇中分别进行第一次超声清洗、第二次超声清洗、第...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。

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