下载流体系统的技术资料

文档序号:20792060

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一种集成化制出的流体系统,包含流体作动区、流体通道、汇流腔室以及多个阀,该流体作动区由至少一导流单元所构成,该导流单元受控制传输流体由其出口孔排出。流体通道连通流体作动区的导流单元的出口孔,且具有多个分歧通道以分流流体。汇流腔室连通流体通道...
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