下载一种智能磁控溅射真空镀膜机的技术资料

文档序号:20710772

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于镀膜机技术领域,具体涉及一种智能磁控溅射真空镀膜机,包括真空箱体,调节装置包括两个安装座,安装座连接有第一丝杆和第二丝杆,安装座连接有两根直线导轨,第一丝杆连接有第一螺母,第一螺母连接有第一直线轴承,第二丝杆连接有第二螺母,第...
该专利属于青岛优百宇真空设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛优百宇真空设备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。