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本实用新型属于镀膜机技术领域,具体涉及一种智能磁控溅射真空镀膜机,包括真空箱体,调节装置包括两个安装座,安装座连接有第一丝杆和第二丝杆,安装座连接有两根直线导轨,第一丝杆连接有第一螺母,第一螺母连接有第一直线轴承,第二丝杆连接有第二螺母,第...该专利属于青岛优百宇真空设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛优百宇真空设备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于镀膜机技术领域,具体涉及一种智能磁控溅射真空镀膜机,包括真空箱体,调节装置包括两个安装座,安装座连接有第一丝杆和第二丝杆,安装座连接有两根直线导轨,第一丝杆连接有第一螺母,第一螺母连接有第一直线轴承,第二丝杆连接有第二螺母,第...