下载一种电磁加热的PVD设备及其生产工艺的技术资料

文档序号:20671795

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本发明公开了一种电磁加热的PVD设备,涉及材料镀膜相关技术领域,包括壳体和输送装置,壳体的一侧中部开设有进料口,壳体的另一侧中部开设有出料口,输送装置包括密封框、第一固定块和第二固定块,固定杆的一端固定连接有限位块,固定杆的另一端贯穿第一固...
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