专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
无锡华源晶电科技有限公司
>
一种8管高产能PECVD设备制造技术
>技术资料下载
下载一种8管高产能PECVD设备的技术资料
文档序号:20612939
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种8管高产能PECVD设备,包括底板与工作台,所述底板的一侧与工作台的一侧固定连接,本发明涉及工艺设备技术领域。该8管高产能PECVD设备,通过在底板顶部的一侧固定连接有气源柜,气源柜的一侧固定连接有主机柜,工作台顶部的一侧固...
该专利属于无锡华源晶电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华源晶电科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。