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本发明公开了一种变倾角相移掠入射干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角相移调制组件、主干涉仪系统、折反镜和和成像系统；由光源变倾角相移调制组件出射倾斜准直光束进入主干涉仪系统，在主干涉仪系统中通过等腰棱镜传递，近掠入射的准直光束到待测面...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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