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本发明公开了一种太阳能电池用硅基薄膜的低成本生产方法，包括如下步骤：（1）衬底清洗处理、（2）薄膜沉积处理、（3）退火晶化处理、（4）冷却成型处理。本发明生产方法的工艺步骤搭配合理，整体的生产效率高、成本低，便于推广应用，生产的硅基薄膜使用...该专利属于含山县领创新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过含山县领创新材料科技有限公司授权不得商用。
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