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MEMS传感器包括衬底和悬置在衬底处的膜，该膜的谐振频率受到作用到膜上的环境压力的影响。MEMS传感器包括评估设备，所述评估设备被配置为基于所述膜的谐振频率执行测量以获得测量结果。该评估设备被构造成考虑环境压力，使得环境压力对测量结果的影响...
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