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本实用新型涉及一种用于无掩模光刻机的真空吸附控制装置，包括真空吸盘、真空发生器及开关电源，所述真空吸盘的上方设置有晶元，真空吸盘通过管路与真空发生器连接，所述管路上设有真空阀门，所述真空阀门的控制管脚通过连接线与开关电源的电源端连接，所述连...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

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