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激光划片装置及应用于划片装置的激光等步距切割方法制造方法及图纸
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下载激光划片装置及应用于划片装置的激光等步距切割方法的技术资料
文档序号:20341218
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本发明涉及激光划片技术领域,公开了激光划片装置及应用于划片装置的激光等步距切割方法,包括箱体,箱体内设有工作台,工作台包括下平台、支撑块和上平台,下平台上设有支撑块,支撑块上设有上平台,上平台上设有Z轴运动模组和折射镜固定板,Z轴运动模组上...
该专利属于无锡恒领科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡恒领科技有限公司授权不得商用。
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