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一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置制造方法及图纸
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下载一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置的技术资料
文档序号:20324734
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本发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置,氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连...
该专利属于方志兰所有,仅供学习研究参考,未经过方志兰授权不得商用。
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