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本实用新型的目的在于提供一种药液泄漏防止装置，其预防药液从待机状态下的药液喷射喷嘴泄漏，从而可提高清洗工艺的经济性，防止工艺事故。用于实现所述目的的本实用新型的药液泄漏防止装置包括：药液喷射喷嘴，其向基板的表面喷射药液；药液供给部，其向所述...
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