下载绝缘栅极功率半导体器件以及用于制造这种器件的方法的技术资料

文档序号:20290643

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绝缘栅极功率半导体器件(1)在发射极侧(22)和集电极侧(27)之间具有(n‑)掺杂漂移层(5)。p掺杂保护枕(8)覆盖沟槽栅极电极(7、7')的沟槽底部(76)。在增强层深度(97)中具有最大增强层掺杂浓度的n掺杂增强层(95)将基极层(...
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