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基板清洗设备制造技术
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文档序号:20231585
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本实用新型公开了一种基板清洗设备,该基板清洗设备包含有一机座、一传输装置、一湿式清洁组及一干式清洁组,其中湿式清洁组与干式清洁组分别具有连续性无尘布条,利用传输装置夹掣与移动一基板,令基板可相对湿式清洁组与干式清洁组的擦拭组,供分别以无尘布...
该专利属于特铨股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过特铨股份有限公司授权不得商用。
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