下载用于飞行时间质谱仪的金属镀层氧化铝陶瓷电极片的技术资料

文档序号:20179738

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本发明涉及一种用于飞行时间质谱仪的电极片,属于离子光学器件制作技术领域。解决了现有技术中的电极片厚度较大、机械尺寸加工不准确一致、电极片不平整以及任意两个电极片之间的间距不够小等技术问题;本发明提供了一种用于飞行时间质谱仪的电极片,包括氧化...
该专利属于中国科学院化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。

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