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液体喷吐装置及干涉物的检测方法制造方法及图纸
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下载液体喷吐装置及干涉物的检测方法的技术资料
文档序号:20168828
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本发明涉及一种液体喷吐装置及干涉物的检测方法,在抑制装置大型化的同时抑制相对于喷吐部的干涉物的检测精度降低。液体喷吐装置(1)具备:喷吐部(7),能够喷吐液体;支承部(4),支承被喷吐液体的介质,并能够沿着移动方向在设置介质的设置位置(14...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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