下载一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉及一氧化硅制备方法的技术资料

文档序号:20110452

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本发明实施例涉及一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉及一氧化硅制备方法,多室卧式真空炉包括炉体、加热反应器、反应冷却装置、冷却收集器、收集冷却装置和抽真空装置;可移动半炉体与固定半炉体机械连接,使固定半炉体与可移动半炉体之间实现紧密贴合;固定半...
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