下载一种异质结太阳能电池电极的制作方法的技术资料

文档序号:20008968

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本发明公开了一种异质结太阳能电池电极的制作方法,包括提供正、背面已沉积铜种子层的硅片;在所述硅片的正、背面沉积牺牲层;在所述硅片正、背面的牺牲层上形成光阻层;通过曝光和显影在硅片正、背面的牺牲层上形成栅线图案;通过酸性溶液预处理,去除硅片正...
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