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光半导体元件、光组件及光模块制造技术
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文档序号:19906770
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本发明涉及一种光半导体元件、光组件以及光模块,通过降低掺杂剂原料的供给不均,从而以低成本制造。所述光半导体元件具备:InP基板、配置于InP基板的上方的活性层、配置于活性层的下方的第一导电型半导体层以及配置于活性层的上方的第二导电型包覆层,...
该专利属于日本奥兰若株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本奥兰若株式会社授权不得商用。
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