下载一种基于平行平板光杠杆的薄片厚度测量系统的技术资料

文档序号:19883431

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本发明涉及一种基于平行平板光杠杆的薄片厚度测量系统,包括激光器、光杠杆、图像传感器、图像处理设备、支架,激光器水平固定在支架的竖直杆上,激光器出射光线为水平光线;光杠杆,一端下方设有第一足尖,第一足尖放置在第一固定平台上,测量时与待测薄片相...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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