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在本发明中提出了通过如下制造用于激光烧蚀过程中并且使得更高效的涂布过程成为可能的靶材部件(17)的制造方法：将以特别的方式制备的添加剂悬浮液(12，13)与作为用于所述靶材的原材料的粉末(11)共混。将由添加剂(12)、原材料(11)和液体...
该专利属于普尔塞德翁公司所有，仅供学习研究参考，未经过普尔塞德翁公司授权不得商用。

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