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一种质量厚度为700-1000μg/cm制造技术
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下载一种质量厚度为700-1000μg/cm的技术资料
文档序号:19803973
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本发明公开了一种大尺度自支撑锡薄膜及其制备方法,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积氯化钾脱模剂;(2)采用90度磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统在衬底表面沉积氧化铜缓冲薄膜;(3)将样品旋转180°,采用直管磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统...
该专利属于广州本康环保科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州本康环保科技有限公司授权不得商用。
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