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本发明属于镀膜技术领域，具体的说是一种利用高能离子体在真空状态下撞击目标靶材的设备，包括箱体、靶材、伸缩杆和翻转模块；箱体顶部固定安装伸缩杆；翻转模块包括转盘、料杆、第一转轴、第二转轴、转环和固定环；伸缩杆的端头通过滚珠丝杠副连接着转盘，伸...
该专利属于余泽军所有，仅供学习研究参考，未经过余泽军授权不得商用。

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