温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种射频等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置和真空室，其特征在于，所述进气装置包括进气混合管路、进气管路和进气阀，所述真空室包括腔体和调节导轨，所述等离子体发生装置包括电极接线柱、电极托盘和射频电源，所述腔体为长方...
该专利属于合肥杰硕真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥杰硕真空科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。