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本发明提供了一种蓝宝石化学机械抛光液及其制备方法，通过复合酸和复合碱将小粒径二氧化硅紧密的附聚在大粒径二氧化硅表面，形成具有特殊复合结构的硅溶胶蓝宝石抛光液，具有高抛光速率，且抛光后的蓝宝石具有超光滑表面，无划痕、无腐蚀坑、无桔皮、粗糙度可...
该专利属于无锡易洁工业介质有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡易洁工业介质有限公司授权不得商用。

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