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本实用新型涉及一种基板处理装置，进行基板的研磨工艺的基板处理装置包括：基板放置部，其放置有基板；止动件，其配置为包围基板的四周周边；研磨单元，其以接触于止动件的上面的状态对基板的上面进行研磨，由此可以获得如下有利效果：提高基板的研磨均匀度，...
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