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本实用新型公开了一种可控制气流均匀平稳的PECVD装置，包括射频机构、沉积箱以及透波板，所述进气管连接于进气口上，所述出气管连接于出气口上；所述进气管和出气管之间设置有均流管，所述均流管两侧分别设置有射频机构，所述透波板设置于衬底和射频板之...
该专利属于通威太阳能（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能（合肥）有限公司授权不得商用。

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