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晶片的加工方法技术
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文档序号:19555817
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提供晶片的加工方法,在对晶片的背面侧进行磨削时,能够充分抑制正面侧所存在的凹凸的影响,磨削后的处理也简单。该加工方法包含:液体提供步骤,对在正面上具有器件区域的晶片的正面提供液体,在该器件区域中形成有具有凹凸的器件;保护膜紧贴步骤,隔着液体...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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