下载一种固定载台及其操作方法的技术资料

文档序号:19353664

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本发明提供了一种固定载台及其操作方法,用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板,固定载台包括:承载模块、固定围护模块、操作模块;所述承载模块包括承载板;所述固定围护模块包括设置在承载板四周的侧壁和设置在侧壁的上方用于覆盖侧壁的盖板,承载板、侧壁和...
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