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硅片检测方法及其所用的硅片承载装置制造方法及图纸
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下载硅片检测方法及其所用的硅片承载装置的技术资料
文档序号:19324672
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本发明的硅片检测方法,用于检测识别具有微裂纹缺陷的硅片,包括:将待测硅片放置于硅片承载装置;对硅片承载装置进行热处理;冷却前述经热处理的待测硅片;检测冷却后的待测硅片是否具有微裂纹缺陷。本发明的用于上述硅片检测方法的硅片承载装置,包括手柄和...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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