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本发明提供了一种用于调节区熔炉压力的保护装置，包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。本发明所述的...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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