下载一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒的技术资料

文档序号:19213108

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开的一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒,包括设置于单晶炉内排气孔位置的导气筒体,导气筒体上设置有用于向单晶炉内反射热量的反射片。本实用新型一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒安装于单晶炉的排气孔处,利用导气筒体上的钼片...
该专利属于银川隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过银川隆基硅材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。