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本实用新型是关于一种大尺寸二氧化硅疏松体及其制备方法和装置，其中，沉积炉内设置有一个或多个反应燃烧器排、烧结燃烧器、沉积基体和移动平台，每个反应燃烧器排包括至少两个反应燃烧器；所述的烧结燃烧器的数量为大于或等于4；所述的沉积基体包括沉积底托...
该专利属于中国建筑材料科学研究总院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国建筑材料科学研究总院有限公司授权不得商用。

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