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本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面...
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