下载真空压力控制装置和微波等离子体化学气相沉积装置的技术资料

文档序号:18909054

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本申请公开了一种真空压力控制装置,包括:至少一条第一真空管路,连通于抽真空接口和真空泵之间,每条第一真空管路上分别设置有一阀门;至少一条第二真空管路,连通于抽真空接口和真空泵之间,每条第二真空管路上分别设置有一阀门和一比例阀,该比例阀包括密...
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